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西方震惊:俄罗斯刚刚建造了它的第一台芯片制造设备 西方试图通过制裁瘫痪俄罗斯并

西方震惊:俄罗斯刚刚建造了它的第一台芯片制造设备

西方试图通过制裁瘫痪俄罗斯并切断先进芯片供应。 这台设备制造 350nm 芯片——更大、更坚固的晶体管,非常适合军事用途。

这张图片展示了俄罗斯半导体制造中的光刻工艺(Photolithography Process)流程,以及技术人员手持晶圆的实际场景。

以下是图中工艺的详细步骤解析:
光刻工艺核心步骤(350纳米,i-line线)

硅片准备 (Wafer Preparation)
在硅衬底(Si)表面生长或沉积一层二氧化硅(\(\text{SiO}_{2}\))绝缘层。

涂胶 (Photoresist Application)
通过离心机(Spin Coating)将液态光刻胶均匀涂抹在二氧化硅层表面。

曝光 (Exposure)
使用波长为 365 nm 的紫外光(i-line)照射。光线穿过掩膜版(Photomask),通过物镜将图形聚焦投射到光刻胶上。被光照到的区域(Exposed areas)物理性质发生改变。

显影 (Development)
使用显影液(如 \(\text{H}_2\text{O}\) 和 TMAH)溶解掉被曝光的光刻胶,留下未曝光的光刻胶图形。

刻蚀 (Etching)
使用刻蚀剂(如氢氟酸 HF)溶解掉没有光刻胶保护的二氧化硅层,将图形转移到二氧化硅上。

光刻胶去除 (Photoresist Removal / Stripping)
使用溶剂或剥离剂清除剩余的光刻胶,最终在硅片上得到精细的二氧化硅图形结构。