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扇出型晶圆级封装,英文全称:Fan‑Out Wafer‑Level‑P...

扇出型晶圆级封装,英文全称:Fan‑Out Wafer‑Level‑Packaging,简称:FOWLP,它是主流的先进晶圆级封装,用来解决传统扇入式WLCSP(Fan‑in)的局限:普通扇入封装的布线、焊盘只能局限在芯片裸片面积之内,I/O引脚数量受限;扇出型把重布线层(RDL)延伸到芯片外部的塑封区域,引出更多引脚,是异构集成、延续摩尔定律的核心方案。其核心思路是“先切割,再重组”。它会先把芯片从晶圆上切下来,然后重新“镶嵌”到一个更大的人工晶圆上,最后再一起做封装。这样做主要是为了解决一个痛点:传统的扇入型封装,线路只能在芯片的原始面积里“绕”,I/O接口多了根本放不下。而扇出型可以理解为把芯片的I/O接口通过重布线层引到了芯片外部(人造的环氧树脂区域),所以能轻松支持成百上千个接口。另外,扇出型晶圆级封装(FOWLP)有“芯片先装 (Die-First)”和“芯片后装(RDL-First)”两条技术路线,区别在于做线路和放芯片的先后顺序而已。所以,扇出型晶圆级封装(FOWLP)属于先进晶圆级封装技术,裸片分离后分散排布并塑封制成重构晶圆,借助重布线层向外引出线路,突破芯片自身引脚限制。该工艺省去基板,信号损耗低,封装轻薄,适合高密度集成;缺点是易产生晶圆翘曲,大量用于移动芯片、芯粒集成器件。