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国产半导体芯片产业链要闻:今日,媒体放风,上微SSA800系列28nm浸没式DU

国产半导体芯片产业链要闻:今日,媒体放风,上微SSA800系列28nm浸没式DUV光刻机交付中芯国际并实现批量量产,标志着国产光刻机从“研发验证”正式迈入“规模化量产”阶段。