特气是芯片的“呼吸”,CMP材料则是芯片的抛光耗材,相当于给晶圆“搓澡”。CMP即化学机械抛光,核心作用是把晶圆表面打磨至镜面级平整,工艺越先进,抛光工序越多:5nm需25–34道,3nm更是高达50–60道。
抛光液、抛光垫为核心耗材,合计占CMP耗材成本八成以上。该赛道长期被陶氏杜邦、富士纺等美日企业垄断,国内高端CMP材料国产化率曾不足20%,14nm以下制程几乎完全依赖进口。
如今国产厂商逐步实现突破:
1. 安集科技抛光液全球市占约7%,国内唯一规模化量产,覆盖铜、钨、钴抛光液,持续切入7nm、5nm先进工艺;
2. 鼎龙股份抛光垫率先突破海外封锁,国内份额约20%,全球5%–8%;
3. 中砂钻石碟在台积电3nm环节市占率达70%,细分环节实现高份额替代。
