半导体设备产业链梳理

消息背景

2026年7月21日消息，三星电子晶圆代工考虑将美国泰勒工厂初期产能扩建至原计划两倍；与此同时台积电上调2026全年资本开支至600亿-640亿美元。
机构Omdia上调国内半导体行业预期，预测2026年中国半导体整体市场规模达到8120.8亿美元，同比增速上调至92.9%。

一、前道设备

1. 光刻机（上海微电子）
核心标的：上海电气、海立股份、张江高科、电气风电、上海机电、东方明珠、赢合科技、飞跃音响
2. 光刻机（长春光机所）
核心标的：奥普光电
3. 直写光刻
核心标的：芯碁微装
4. 刻蚀设备
核心标的：中微公司、北方华创、屹唐股份、迈为股份、神工股份、先锋精科
5. 薄膜沉积设备
核心标的：微导纳米、拓荆科技、北方华创、中微公司、先锋精科、先导基电
6. 离子注入机
核心标的：先导基电、华海清科、中科信息
7. 涂胶显影设备
核心标的：芯源微、盛美上海、至纯科技、固高科技
8. 清洗设备
核心标的：盛美上海、至纯科技、新莱应材、富乐德、国林科技、蓝英装备
9. 量测设备
核心标的：中科飞测、精测电子、天准科技、埃科光电
10. 抛光设备/耗材
核心标的：华海清科、安集科技、鼎龙股份、金太阳
11. 热处理/温控
核心标的：屹唐股份、京仪装备
12. 前道检测
核心标的：赛腾股份、精测电子、中科飞测、埃科光电、骄成超声
13. 新凯来相关
核心标的：奥普光电、新莱应材、正帆科技、英诺激光、至纯科技、江丰电子、路维光电、强瑞技术、富创精密、同惠电子、利和兴

二、后道设备

1. 划片机
核心标的：光力科技、德龙激光、奥特维
2. 封装设备
核心标的：耐科装备、三佳科技、快克智能、新益昌、奥特维
3. 混合键合设备
核心标的：拓荆科技、迈为股份、北方华创、快克智能、百傲化学
4. 测试设备
核心标的：长川科技、华峰测控、联动科技、矽电股份、和林微纳、金海通、精智达

三、其他

泛半导体废气治理
核心标的：盛剑科技、仕净科技、创元科技、中微公司

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