近日,中国重磅官宣了一则消息,仿佛从天而降的炸弹,直接把美、日、荷等国给打傻了。原来,我国自行研发的全球首台万通道 3D 纳米激光直写光刻机,正式发布了,而且将于27年下半年实现商用量产,一举打破了美、日、荷等国对我国的芯片的长期垄断。
浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室4月10日在杭州开了成果发布会,主导研发的是匡翠方教授团队,整个过程没抄任何国外技术,完全是咱们自己琢磨出来的硬核成果。
你可能没概念,这台机器的出现,相当于在芯片制造的赛道上,咱们突然换了辆超跑,把以前那些堵着路的老车甩得没影了。
很多人一听说光刻机就想到荷兰ASML的EUV,觉得咱们这台是不是要跟它抢饭碗。其实还真不是,二者是互补关系,各干各的活。
EUV像个高效的印章,适合批量生产7nm以下先进制程芯片;咱们这台万通道激光直写机更像支超级画笔,一万支笔同时在芯片上画画,专门解决高端掩模版制造、光子芯片加工这些细分领域的卡脖子问题。
以前这些领域全被美日企业攥在手里,他们说多少钱就多少钱,说不给货就不给货,现在咱们自己能造了,腰杆自然就硬了。
别以为这只是实验室里的摆设,它早就通过了中国光学学会的第三方认证,2026年下半年就启动客户实测,2027年小批量量产,妥妥的工业级设备,不是用来展览的花瓶。
而且它还带了两个配套神器,桌面式高亮极紫外光源和桌面式极紫外光显微镜,形成了“造底片、供光源、查缺陷”的完整闭环,把整个光刻流程的核心设备都给国产化了。
以后咱们造芯片,从设计到检测,再也不用看别人脸色,这才是最让美日荷等国头疼的地方。
它的应用场景更是广得很。高端掩模版制造以前被日本企业垄断,现在咱们自己能做了,成本能降到原来的三分之一。
光子芯片领域它更是大显身手,能加工出3D微纳结构,为下一代通信技术铺路。
量子芯片制备以前依赖进口电子束光刻机,不仅贵还禁运,这台设备能把量子芯片迭代周期压缩到7天,成本降到海外设备的1%,直接让量子产业规模化落地成为可能。
就连生物医疗领域的高端基因测序芯片、微流控芯片,它都能轻松搞定,以后咱们做基因检测可能都要便宜不少。
最有意思的是它的技术路线,完全绕开了EUV的专利壁垒。美日荷之前总想着用技术封锁卡咱们脖子,限制EUV光刻机出口,没想到咱们直接另起炉灶,在激光直写领域搞出了全球第一的技术。
现在全球芯片产业都在盯着咱们这台机器,毕竟谁也不想在这场技术革命中掉队,以前他们卡咱们脖子,现在轮到咱们掌握主动权了。
2027年量产之后,不仅国内芯片企业能用上,说不定还能反过来出口给那些曾经封锁咱们的国家,这种角色互换想想就挺过瘾。
这台万通道3D纳米激光直写光刻机只是咱们芯片自主化的一个缩影。上海微电子的28nm浸没式DUV光刻机也已经在2026年全面量产,良率稳定在90%以上,国产化率超过85%。
从高端掩模版到成熟制程芯片,从配套光源到检测设备,咱们正在一步步构建完整的芯片制造产业链。美日荷等国的垄断时代已经一去不复返,以后芯片市场的规则,该由咱们来定了。

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