美国贸易代表在发布会上，抛出一枚重磅炸弹：中国，有了一台EUV光刻机。

荷兰政府：“我们没卖。”光刻机制造商阿斯麦：“不是我们的。”

一台将近一百八十吨重的机器，不可能悄无声息地消失，更不可能凭空出现在中国。

阿斯麦的回应没有留下任何模糊空间：从未向中国发运过任何一台EUV光刻机，也从未向中国出口过任何专为EUV设计的组件、模块或配套设备。荷兰外交部同步表态，强调从未批准任何EUV机型输华。

一台EUV光刻机，自重接近一百八十吨，整机跟一辆黄色校车差不多大。运输时要拆成近百个超大型模块，动用数十辆特种运输车和专用货运包机。到了客户工厂，安装调试必须由阿斯麦原厂工程师驻场操作，日常运行中机器会持续向总部回传运行参数和位置信息。

全球年产量只有寥寥数台，每台的下单企业、交付地址、维护日志全在数据库里实时可查。想瞒天过海把整台EUV弄进中国还能悄无声息开机跑晶圆，物理上就站不住脚。

阿斯麦全球在运行的EUV设备共314台，退役拆解26台，每一台都有独立序列号，接入实时远程运维系统，部署位置均可追踪。在这个完整台账体系下，中国大陆不存在任何EUV设备记录。

一台EUV设备拆解后需要超过250个集装箱、三架大型货机协同运输，全流程会在多国海关、物流和保险系统中留下清晰记录。设备安装必须依赖数十名原厂工程师长期驻场调试，运行中还需要持续技术维护，脱离原厂体系几乎无法启动。

更耐人寻味的是，几名匿名美国官员对外放风说掌握了相关线索，可被问到具体货运单据、通关记录或设备序列号时，又统一以信息敏感为由拒绝公开。美国商务部也未回应就此事提出的多项问询，包括是否掌握任何证据表明中国境内存在EUV设备。

从商业逻辑算这笔账更说不通。阿斯麦约五分之一的年销售收入仍来自对中国市场的成熟制程光刻设备销售。为了一笔违法的EUV交易去赌整个中国市场、甚至面临欧美监管方撤销出口资质的风险，任何理性的管理层都不会做这种自杀式选择。

美国国会部分议员正推动《MATCH法案》，要求荷兰把禁售范围从EUV进一步扩大到高端浸润式深紫外光刻机。先抛一顶EUV偷渡的帽子，再顺水推舟逼盟友扩大禁令，这路数不算新鲜。正如阿斯麦首席执行官富凯所言，收紧光刻机输华将加速中国自研替代设备。

2025年12月，路透社报道称中国科学家已研制出EUV原型机，由一批前阿斯麦工程师组成的团队打造，被描述为中国的“曼哈顿计划”。上海微电子自主研发的SSA800系列28纳米浸没式DUV光刻机近期完成首批批量交付，进入量产工艺验证阶段，整机国产化率超85%。上海光机所林楠团队研发的固体激光驱动LPP-EUV光源，转换效率达3.42%，绕开了阿斯麦的二氧化碳激光专利壁垒。

西方越怕EUV被研究、被逆向，越说明他们察觉到中国半导体产业链正在做的事。多家外媒早先报道，中国启动了被外界称为半导体版“曼哈顿计划”的专项攻关，由国内头部科技企业担任核心牵头单位，在深圳等地布局极紫外光刻机关键子系统研究，吸纳了一批具有海外光刻产业背景的资深技术人才加入。

美国贸易代表在发布会上扔出的那枚炸弹，炸开的也许不是一台不存在的机器，而是一个即将到来的现实。

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