日本四大光刻胶巨头对华断供,进口从2200吨跌至111吨。6月22日,东京应化、JSR、信越化学、富士电子材料四家日本光刻胶企业,已停止接收中国客户ArF和EUV光刻胶新订单,KrF光刻胶新增订单大幅压缩。已签署的存量合同,交货周期从1-2个月延长至6-8个月。驻厂技术工程师已撤走。
简单说就是:ArF光刻胶和EUV光刻胶,新订单一概不接。KrF光刻胶这边,新增订单也被大幅压缩,大批量采购的申请直接就被驳回了。手里头还有老合同的,交货周期从原来的一两个月,一下子拉长到了六到八个月。
这还不算完。这些日本公司把所有驻在中国的工程师和技术团队全都撤走了。售后支持、设备调试、配方适配,这些以前由日本人上门服务的活儿,统统停了。
光刻胶这东西跟普通原材料不太一样,它不是买回来倒进机器就能用的。每家晶圆厂的产线情况不同,光刻胶到了之后需要原厂的工程师现场调试、匹配参数,才能保证生产良率。现在人撤了,就算手里还有点存货,用起来也费劲。
咱们看看海关的数据就知道这事有多严重了。2025年一季度,中国从日本进口光刻胶大概是2200吨,那是正常水平。到了2026年一季度呢?111.3吨。跌了多少?95%。具体拆开看:1月份还有69.2吨,2月份直接归零,3月份来了42.1吨——那估计是最后剩下的一点尾货。到了二季度更惨,高端ArF和EUV光刻胶连续好几个月进口量是零。整个二季度预估总量也就50到65吨,比一季度又少了一半。
从2200吨掉到111吨,再掉到五六十吨,这已经不是“减少”了,这是直接掐断了。
这件事的背景还得往前倒一倒。早在2025年11月,日本就把ArF和EUV光刻胶列入了出口管制清单,要求逐案审批,审批周期90天。到了2025年12月底,管制又加码了,连中端的KrF和低端的i线光刻胶审批也延长到了90天。2026年2月,管制范围扩大到了37类材料。
所以6月22号这四家公司同步宣布断供,不是临时起意,而是一步步收紧之后的总爆发。之前2019年日本对韩国也干过差不多的事,当时掐了氟化氢、光刻胶和氟聚酰亚胺三种材料,三星的氟化氢库存只够用几周,差点就停产了。一直拖到2023年日韩关系缓和了才解禁。
那这次轮到中国,情况跟韩国当年有什么不一样?最大的区别在于,韩国当年是被打了个措手不及,而中国这边其实已经准备了好些年。从2020年左右开始,国产光刻胶的研发就在往前推了。
比如说南大光电,是国内目前唯一能稳定量产ArF光刻胶的企业,已经在28纳米产线上给中芯国际、长鑫存储这些大厂批量供货了。彤程新材旗下的北京科华,在KrF光刻胶这块国内市占率是第一。还有鼎龙股份,2026年有新的KrF和ArF产线落地投产。另外有公司年产300吨高端光刻胶的产线在2026年3月已经投产了,从原料到成品全链条自主制造。政策层面,大基金三期投了超过500亿到半导体材料领域。
不过话说回来,国产替代这条路没那么快。光刻胶这东西从送样到拿到批量订单,至少需要两年时间。而且全球高端光刻胶90%以上的市场被这四家日本企业垄断着,国产厂商目前的产能跟日本巨头比起来差距还不小。南大光电的ArF光刻胶产能是每年50吨,而中国一年从日本进口的光刻胶是上千吨的量级,这个缺口短期之内光靠国产填不上。
另外还有个麻烦事。日本企业把驻场工程师撤走之后,国内晶圆厂手里现有的日系光刻胶库存大概只够撑一两个月。光刻胶这东西保质期也就六到九个月,想大规模囤货都不现实。一旦库存用完、国产的还没完全接上,那先进制程的芯片产线就可能面临断料停线的风险。
说到底,日本这次断供,掐住的是中国芯片制造最要命的地方。光刻胶虽然只占晶圆制造成本的5%到6%,但它就像炒菜的盐——用量不大,少了它什么都做不成。没有光刻胶,光刻机就是一堆废铁,芯片就造不出来。
国产光刻胶这些年确实有了不小的进步,从几乎为零到开始在部分领域实现突破,这是好事。但也要清醒地看到,日本企业在这个领域积累了 decades 的技术和经验,国产要完全替代,不是一年两年能办到的事。
这次断供是一次严峻的考验,也是一次倒逼。以前还能买到的时候,晶圆厂用国产光刻胶的动力不足,毕竟切换供应商有风险、要时间。现在日本人不卖了,那就只剩下一条路——咬牙把国产的搞上去。
这场仗,才刚刚开始。


