截至10:36，中证半导体材料设备主题指数上涨2.9%，成份股中，金海通上涨9.6%，中科飞测上涨9.5%。大额资金连续3日流入半导体设备ETF易方达（159558），同花顺iFinD数据显示，截至昨日，该ETF近3日合计“吸金”13.9亿元。

近期，半导体设备国产化加速推进，CVD设备领域国产替代取得突破，微导纳米、中微公司相关设备营收同比翻倍增长。机构预计，2026年全球晶圆制造设备市场规模同比增长26%至1478亿美元，2027年进一步增长35%，半导体设备需求正从AI驱动走向全面景气。

中原证券研报指出，半导体设备自主可控加速推进，建议关注具备突破先进制程或先进封装能力的设备公司；当前刻蚀、薄膜沉积、量测等核心环节国产化率持续提升，国产设备正从量变走向质变。

中证半导体材料设备主题指数聚焦半导体材料、设备及零部件等产业链上游核心环节，是布局半导体国产化的精准工具。半导体设备ETF易方达（159558，联接基金A/C：021893/021894）紧密跟踪该指数。

风险提示：基金有风险，投资需谨慎。